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怎样提高外延片的ESD能力啊?

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蝴蝶豆

新手上路

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2019-1-7
发表于 2013-9-26 10:04:47 | 显示全部楼层 |阅读模式
大侠们,有做数字集成电路的不,怎么才能提高外延片的ESD能力,有什么有效的方法不?求解!!! 
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蝴蝶豆

中级会员

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2018-4-15
发表于 2013-9-26 10:46:42 | 显示全部楼层

RE:怎样提高外延片的ESD能力啊?

哈哈 这个我有
做了ESD 6KV, 辐射50V/M

给你两个链接,一个是STM32F103做产品试验的,另一个是ISP下载线做干扰试验的 。
百度贴吧:https://tieba.baidu.com/p/2587597555
21IC:     http://bbs.21ic.com/icview-622072-1-1.html
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蝴蝶豆

新手上路

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1970-1-1
发表于 2013-9-26 13:17:44 | 显示全部楼层

RE:怎样提高外延片的ESD能力啊?

调整低温buffer层和uGaN的生长条件  尽量降低102和002/能有效改善ESD
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蝴蝶豆

金牌会员

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1970-1-1
发表于 2013-9-26 14:24:09 | 显示全部楼层

RE:怎样提高外延片的ESD能力啊?

1、从Buffer到P-GaN所有磊晶层都会有影响,EBL效果最为显著
2、调整LT-GaN和U-GaN的生长条件,尽量降低002/102
3、PSS调试中,U-GaN厚度不能太薄,U-GaN和n-GaN的生长温度也很重要,不能产生Pits
4、各层的掺杂浓度
5、腔体密封性不好,有漏
6、气体纯度不高(点过低)
7、外延结构有问题,current spreading没有做好,overshot
8、芯片工艺没控制好,有污染
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蝴蝶豆

新手上路

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2019-1-7
 楼主| 发表于 2013-9-26 15:04:28 | 显示全部楼层

回复:怎样提高外延片的ESD能力啊?

回复第 2 楼 于2013-09-26 10:46:42发表:
哈哈 这个我有
做了ESD 6KV, 辐射50V/M

给你两个链接,一个是STM32F103做产品试验的,另一个是ISP下载线做干扰试验的 。
百度贴吧:https://tieba.baidu.com/p/2587597555
21IC: http://bbs.21ic.com/icview-622072-1-1.html 

我先看看,有问题再跟这位老兄讨论哈,多谢啦!! 
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